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Microelectronics, electromagnetism, photonics , microwave

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Thesis VAN DEN DAELE William

Updated on November 24, 2010
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Author(s) : Thesis prepared in the Laboratory  IMEP-LAHC  supervised by  Mr Sorin CRISTOLOVEANU
References : Monday, november 8th at 10:00 - P014 - Phelma Polygone
Sources : Substrats et dispositifs avancés sur Germanium-sur-Isolant (GeOI): Caractérisation, Modélisation et Simulation
VAN DEN DAELE William

VAN DEN DAELE William

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ABSTRACT :

La miniaturisation des transistors MOS à effet de champ (MOSFET) sur substrat silicium massif arrive à ses limites physiques. Afin de tenir les spécifications de l'International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), plusieurs solutions se profilent, dont l'utilisation de matériaux semiconducteurs alternatifs à forte mobilité tels que le germanium (Ge). L'utilisation du GeOI (Germanium-sur-Isolant) permet de cumuler les avantages de contrôles électrostatiques de la technologie SOI avec les propriétés de transport du Ge. Cette étude propose une revue des propriétés des substrats et de dispositifs pMOSFETs sur GeOI. La première partie présente les performances électriques des substrats GeOI par la méthode pseudo-MOSFET au travers de caractérisations et de simulations TCAD. Les deux parties suivantes portent sur l'étude des pMOSFETs à grille TiN/HfO2. Nous appréhendons les phénomènes de fuites observées au drain des pMOSFETs par des mesures et de modélisations dépendantes de la température. Nous nous intéresserons finalement à la forte mobilité des trous dans les dispositifs pMOSFETs sur GeOI afin de comprendre les origines physiques des phénomènes limitant le transport.

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Date of update November 24, 2010

French
IMEP-LAHC
Grenoble site
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Chambéry site
Université de Savoie Mont Blanc - F73376 Le Bourget du Lac Cedex
 
 
  CNRS  http://www.cnrs.fr      Site Grenoble-INP http://www.grenoble-inp.fr       Université Grenoble Alpes (UGA)      Université Savoie Mont Blanc
Univ. Grenoble Alpes