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Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Soutenance de thèse de Louise DE CONTI

Publié le 21 août 2019
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2 octobre 2019 | Plan d'accès
Soutenance de thèse de Louise DE CONTI ,  pour une thèse de DOCTORAT de l' Université de  Grenoble Alpes , spécialité  "NANO ELECTRONIQUE & NANO TECHNOLOGIES ", intitulée:
Amphi M001 -Phelma -Minatec
3 rue parvis Louis Néel
38016 Grenoble cedex1
 

« Conception de protection 3D contre les décharges électrostatiques (ESD) en technologie silicium avancée sur isolant (FD SOI) film mince multi couches »

Louise DE CONTI

Louise DE CONTI

Mercredi 2 Octobre 2019 à 10h30

Résumé:
L'objectif de la thèse était de concevoir des composants de protection contre les décharges électrostatiques (ESD) sur film mince de silicium en technologie 28nm FD-SOI de chez STMicroelectronics (technologie silicium sur isolant « SiliconOn-Insulator » (SOI) entièrement déplété « Fully Depleted » (FD)). Cette technologie est caractérisée par un film de silicium, un oxyde enterré ultra minces (UTBB), et par une grille métallique avec oxyde à haute permittivité (high-k). En prenant en compte ces caractéristiques, . des composants existants ont été étudiés et de nouvelles solulions technologiques ont .été proposées pour les améliorer.
De plus, de nouveaux composants' ont été élaborés. Ils ont été simulés en 3D avec le logiciel TCAD afin de comprendre leur comportement électrique. Des plaques de silicium ont été mesurées afin de vérifier la réponse des composants lors de tests typiques pour les ESD. Ce travail ouvre la voie pour des composants de. protection contre les décharges électrostatiques conçus dans le film mince avec une attention spéciale pour l'aspect 3D, tel que (i) la possibilité d'implémenter la protection dans un circuit intégré 3D monolithique, (ii) la conception de matrice en tant que composant de protection, et (iii) la fusion de différents composants pour bénéficier d'une conduction de courant en 3D.

Membres du jury :
  • Philippe GALY : Directeur de thèse
  • Sorin CRISTOLOVEANU : CoDirecteur de thèse
  • Maud VINET : CoDirecteur de thèse
  • Dionyz POGANY : Rapporteur
  • Bruno ALLARD : Rapporteur
  • Nathalie LABAT : Examinateur .
  • Jean-Pierre COLINGE : Examinateur

 

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Partenaires

Thèse préparée dans le laboratoire : UMR 5130 - IMEP-LAHC  (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme, Photonique – Laboratoire Hyperfréquences et Caractérisation) sous la direction de Philippe GALY, directeur de thèse et Sorin CRISTOLOVEANU Co-encadrant.
 

mise à jour le 20 septembre 2019

Univ. Grenoble Alpes