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Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Soutenance de thèse de Mayeul DURAND DE GEVIGNEY

Publié le 13 septembre 2016
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Soutenance 8 juillet 2016 | Plan d'accès
Soutenance de thèse de Mayeul DURAND DE GEVIGNEY,  pour une thèse de DOCTORAT de l' Université de  Grenoble Alpes , spécialité  "OPTIQUE et RADIOFREQUENCE ", intitulée:
Salle E108 PHELMA /MINATEC 
3 rue Parvis Louis Néel
38000 Grenoble


«Conception et optimisation d'un nouveau procédé d'inspection de substrats transparents par champ sombre laser Doppler»

Mayeul DURAND DE GEVIGNEY

Mayeul DURAND DE GEVIGNEY

Vendredi 8 Juillet  2016 à 10:30

Résumé:
Nous présentons dans cette thèse une nouvelle solution innovante pour détecter des défauts de l’ordre de 100nm (ou cent mille fois plus petit que le millimètre), sur des surfaces transparentes, tout en garantissant que ces défauts sont bien en face avant de la plaquette transparente. Nous utilisons pour cela un capteur utilisé dans la fluidique, qui en plus de l’information de puissance lumineuse diffusée, apporte une information fréquentielle sur chaque défaut, qui permet de garantir que ces défauts sont bien en face avant de la plaquette. Tout défaut en dehors de la face d’intérêt sera bien vu, mais présentera une fréquence différente que celle recherchée et pourra donc facilement être filtré.
Nous appliquons ainsi cette méthode pour l’inspection de substrats transparents pour le semi-conducteur, domaine où l’état de l’art repose sur des méthodes qui sont soit trop lentes soit qui ne permettent pas de situer sans ambigüité les défauts.

Membres du jury :
•    Pierre BENECH - Directeur de Thèse
•    Renaud BACHELOT - Rapporteur
•    Thierry BOSCH - Rapporteur
•    Isabelle SCHANEN - Examinateur


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Partenaires

Thèse préparée dans le laboratoire : UMR 5130 - IMEP-LAHC  (Institut de Microélectronique, Electromagnétisme, Photonique – Laboratoire Hyperfréquences et Caractérisation) dirigé par   Pierre BENECH..

mise à jour le 13 septembre 2016

Univ. Grenoble Alpes