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Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Soutenance de thèse de Mr Fanyu LIU

Publié le 29 avril 2015
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Soutenance 5 mai 2015 | Plan d'accès
Soutenance de Mr Fanyu LIU, pour une thèse de DOCTORAT de l'Université de Grenoble, Spécialité Nano Electronique et Nano Technologies, intitulée:
PHELMA /MINATEC  salle 253
3 rue Parvis Louis Néel
Grenoble

« Caractérisation électrique et modélisation du transport dans des matériaux et dispositifs SOI avancés »

Fanyu LIU

Fanyu LIU

Mardi 5 Mai 2015 à 10h

Résumé de Thèse:
Cette thèse est consacrée à la caractérisation et la modélisation du transport électronique dans des matériaux et dispositifs SOI avancés pour la microélectronique.
Tous les matériaux  innovants étudiés (ex: SOI fortement dopé, plaques obtenues par colage etc.) et les dispositifs SOI sont des solutions possibles aux défis technologiques liés à la réduction de taille et à l'intégration. Dans ce contexte, l'extraction des paramètres électriques clés, comme la mobilité, la tension de seuil et les courants de fuite est importante .
Tout d'abord, la caractérisation classique pseudo-MOFSET a été étendue aux plaques SOI fortement dopées et un modèle adapté pour l"extraction paramètres a été proposé.
Nous avons également développé une méthode électrique pour estimer la qualité de l'interface de collage pour des plaquettes métalliques . Nous avons montré l'effet bipolaire parasite dans MOSFET SOI totalement désertés. Il est induit par l'effet tunnel bande-à-bande et peut être entierement supprimé par une polarisation arrière. Sur cette base, une nouvelles méthode a été développée pour extraire le gain bipolaire.
Enfin, nous avons étudié l'effet couplage dans le FinFET SOI double grille, en mode d'inversion. Un modèle analytique a été proposé et a été ensuite adapté aux FinFETs sans jonction (junctionless) .
Nous avons mis au point un modèle compact pour le profil des porteurs et des techniques d'extraction de paramètres.

Membres du jury :
• Sorin CRISTOLOVEANU : Directeur de thèse
• Irina IONICA : Co-encadrant de thèse
• Cristell MANEUX : Rapporteur
• Yong Tae KIM : Rapporteur
• Maud VINET : Examinateur
• Francisco GAMIZ : Examinateur

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Partenaires

Thèse préparée dans le laboratoire: UMR 5130 - IMEP-LAHC :Institut de Microélectronique, Electromagnétisme, Photonique - Laboratoire hyperfréquences et caractérisation, sous la direction de Sorin CRISTOLOVEANU ( directrice de thèse)


mise à jour le 29 avril 2015

Univ. Grenoble Alpes