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Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Soutenance de thèse de Mr HAUSER David

Publié le 27 septembre 2011
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Soutenance 21 janvier 2011 | Plan d'accès
Soutenance de M.HAUSER David pour une thèse de DOCTORAT de l'Université de Grenoble, spécialité Micro et Nano Electronique intitulée :

Elaboration de super-réseaux de boîtes quantiques à base de SiGe et développement de dispositifs pour l’étude de leurs propriétés thermoélectriques.

HAUSER David

HAUSER David

Vendredi  21 Janvier  2011  à 14h

Résumé de thèse :
L'utilisation de dispositifs thermoélectriques à base de films minces en SiGe est envisagée dans de nombreuses applications comme le refroidissement localisé de composants microélectroniques. Le SiGe possède en effet un net avantage en terme d'intégrabilité mais souffre cependant d'un déficit en terme de performances. Dans le cadre de cette thèse, nous nous sommes intéressés à la nanostructuration de ce matériau en super-réseau de boîtes quantiques (SRBQ), celle-ci devant permettre une forte augmentation de son facteur de mérite. La réalisation, par un outil CVD de type industriel, à 750 °C, de SRBQ monocristallins lourdement dopés, est présentée à partir d'analyses diverses (AFM, MEB, MET, SIMS). Des phénomènes de forts échanges Si-Ge pendant la croissance sont notamment mis en évidence et corrélés avec des mesures de conductivité thermique. L'élaboration de structures polycristallines originales est également présentée. Enfin, la question cruciale de la détermination du facteur de mérite est abordée. Une solution consistant à mesurer plusieurs paramètres électriques, thermiques et thermoélectriques sur un même échantillon est proposée et concrètement mise en œuvre par la réalisation simultanée de dispositifs de test adaptés.

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Partenaires

Thèse préparée au laboratoire DTNM : LCRE ( CEA-Liten) et  IMEP-LAHC, sous la direction conjointe de Monsieur Laurent MONTES  et  Monsieur Marc PLISSONNIER

mise à jour le 16 février 2015

Contact

Mr MONTES Laurent
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