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> Plateformes > Technologie > Gravure, Chimie, Activités nanomatériaux

Gravure humide et sèche, Chimie, Activités nanomatériaux

Gravure humide :

  • Gravure de différents matériaux : Al, Cr, Au, SiO2, Al2O3…
  • Bains régulés par thermoplongeur
  • Travail :
    • sur paillasse aspirante
    •  sous sorbonnes pour l'utilisation d'acides (acide Fluorhydrique et autres) et de solvants pour les nettoyages  (FeNO3, remover)
  • Balance de pesée de précision
  • Bains ultrasoniques
  •  Plaques chauffantes
Balance de pesée de précision
     Travail sous sorbonnes pour l'utilisation d'acides (acide Fluorhydrique et autres) et de solvants pour les nettoyages ( FeNO3, remover)

Gravure sèche :

Bâti de gravure RIE/ ICP Corial 200IL
  • Gravure de couches minces à partir de gaz fluorés, gravure de nanopilliers, gravure de résine par plamsa O2, activation de surface.
  • Gaz process disponibles : CHF3, SF6, C2H4, O2.
Bâti de gravure RIE / ICP       Chargement dans gravure Plasma  

Activité nanomatériaux :

  • Croissance
  • Mise en solution
  • Intégration à des matrices polymères
  • Dépôt
  • Travail sous sorbonne, pyramide de terrain ou boite à gants

Autres équipements disponibles:

  • Etuves
  • Etuves sous vide
  • Etuve à convection forcée
  • Microscope optique Leica INM100 : Grossissement jusqu’à 1000, avec  acquisition d’images
  • Centrifugeuse Semitool pour le rinçage et séchage de plaquettes.
  • Polisseuse pour la préparation de surfaces pour l’adhésion moléculaire.
Activation de surface             Microscope optique Leica INM100                        

mise à jour le 15 mai 2019

anglais
IMEP-LAHC
Site de Grenoble
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site de Chambéry
Université Savoie Mont Blanc - F73376 Le Bourget du Lac Cedex
 
 
  CNRS  http://www.cnrs.fr      Site Grenoble-INP http://www.grenoble-inp.fr       Université Grenoble Alpes (UGA)      Université Savoie Mont Blanc
Univ. Grenoble Alpes