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Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Nanostructures et nanosystèmes intégrés

Responsable / Headed by : Laurent MONTES

Contexte et objectifs

La réduction des dimensions des dispositifs actifs, associée à l'émergence de matériaux nouveaux (substrats de la famille SOI, nanofils, nanotubes, ...), permet d'exploiter de nouvelles propriétés liées par exemple à l'amplification des effets quantiques. La nanostructuration augmente en outre le rapport surface/volume et la sensibilité du transport aux interfaces - ce qui peut être un atout pour les applications de type capteurs ou un inconvénient pour les applications microélectroniques - et demande donc dans tous les cas une étude approfondie. La nanostructuration apporte enfin la possibilité d'appliquer des déformations mécaniques extrêmement importantes sans rupture, ce qui autorise des variations considérables des propriétés électriques. Notre objectif est d'explorer les propriétés électriques des nanostructures et nanosystèmes et d'en évaluer le potentiel dans une perspective d'intégration. Leurs caractéristiques ouvrent en effet la voie à une diversification extraordinaire des fonctionnalités des circuits intégrés (intégration de capteurs, conversion d'énergie...) et à la possibilité de réaliser l'interfaçage avec de nouveaux champs disciplinaires.

Outre notre implication dans le réseau d'excellence Nanosil, notre activité implique de nombreuses collaborations avec des laboratoires reconnus internationalement qui nous donnent accès à ces nanostructures.

Nous apportons pour notre part nos compétences en conception électromécanique, en technologie - pour leur intégration dans des dispositifs fonctionnels - ainsi qu'en caractérisation. Nous disposons pour cela de toute l'expertise accumulée dans le thème en termes de caractérisation électrique, ainsi que d'outils plus spécifiques comme un AFM Nanoman II avec boucle de rétroaction X,Y,Z équipé de tous les modes électriques ou un vibromètre interférométrique laser 3D pour l'étude des nanostructures en déformation dynamique

Plus d'informations

mise à jour le 9 novembre 2021

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