Aller au menu Aller au contenu
Equipements
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
Equipements

> Plateformes > Caractérisation Electrique et physique > Mesures à l'echelle nanométrique

Mesures à l'échelle nanométrique

  1.  AFM (Atomic Force Microscopy) :

Atomic Force Microscopy
Mode classique en topographie
(Tapping et Contact)
et modes électriques (EFM, SCM, TUNA, C-AFM).



 

  2 . Nouvel AFM

Nouvel AFM  L’IMEP-LaHC vient de se doter d’un 
 nouveau microscope à force atomique
 (AFM) particulièrement puissant. 
 Rappelons que le principe d’un AFM
 repose sur l'analyse d'un objet point par
 point au moyen d'un balayage par une
 sonde assimilable à une pointe effilée
 d’environ 10 nm de rayon de courbure
.

Ce mode d'observation permet de cartographier avec une très grande résolution spatiale la topologie et certaines grandeurs physiques caractéristiques d’échantillons solides de diverses natures (SC, conducteur, isolant) et peu rugueux (<10 µm). Il permet également d’analyser localement les grandeurs physiques et électriques (courbe de force, capacité, courant...).
 Installé depuis début octobre 2018, l’AFM de l’IMEP-LaHC va plus loin en proposant deux fonctionnalités originales.
  1. D’abord, le mode « Data Cube », qui permet de réaliser simultanément des mesures électriques et physiques point par point sur toute la surface de l’échantillon. « Il est désormais possible de capturer simultanément et rapidement des caractéristiques électriques et mécaniques de l’échantillon, qui peut ainsi être cartographié en termes de courant, de tension, de courbe de force, etc. », explique Xavier Mescot, responsable de la plate-forme de caractérisation électrique et physique de l’IMEP-LaHC.
  2. Seconde nouveauté : le module SMIM ( Scanning Microwave Impedance Microscopy) , qui permet d’analyser la réflexion par l’échantillon d’un signal radiofréquence incident à 3 GHz et d’en extraire en une seule mesure – qui plus est, rapide – la capacité et la résistivité locale, avec une résolution spatiale de l’ordre de 50 nm. Le mode SMIM permet également de réaliser des spectres de capacité qui sont pratiquement impossibles à obtenir avec les modes électriques usuels d’un AFM.
Ces options, disponibles sur 2 ou 3 machines seulement en France, vont ouvrir de nouveaux horizons quant à la compréhension des phénomènes physiques locaux dans les objets micro et nanométriques tels que les films minces, les nanofils ou les matériaux bidimensionnels.
Le nouvel AFM sera accessible à des équipes extérieures dans le cadre de la plateforme OPE)N(RA de la FMNT.

 Tête Optique

             Tête Optique

 
Cage de Faraday

           Cage de FAFADAY

Rédigé par Brigitte Rasolofoniaina

mise à jour le 11 janvier 2019

anglais
IMEP-LAHC
Site de Grenoble
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site de Chambéry
Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex
 


  CNRS  http://www.cnrs.fr      Site Grenoble-INP http://www.grenoble-inp.fr       Université Grenoble Alpes (UGA)      Université Savoie Mont Blanc
Univ. Grenoble Alpes