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Stations de mesure

Ces équipements peuvent être utilisés en combinaison avec :

  • une station manuelle de test sous pointes PM8 Suss Microtech pour la caractérisation des dispositifs sur tranche jusqu'à 8'' (200 mm)

PM8 Suss Microtech
Figure 3: PM8 Suss Microtech

  • ou avec une station semi automatique Elite 300 Cascade Microtech pouvant accueillir des wafer jusqu’à 300 mm , pour des mesures en température ambiante ou jusqu’à 300°C
Elite 300 Cascade Microtech et système de régulation thermique ERS Air Cooled
Figure 4 :Elite 300 Cascade Microtech et système de régulation thermique ERS Air Cooled

mise à jour le 18 juillet 2019

anglais
IMEP-LAHC
Site de Grenoble
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