Soutenance de thèse de Mr SAEID Mazen
Publié le 28 septembre 2011
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Soutenance de M.SAEID Mazen pour une thèse de DOCTORAT de l'Université de Grenoble, spécialité Micro et Nano Electronique intitulée :
Etude de la stabilité et de la précision des modèles utilisés dans la correction des effets de proximité optique en photolithographie.
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Partenaires
Thèse préparée dans le laboratoire IMEP-LAHC sous la direction conjointe de Mme Isabelle SCHANEN
mise à jour le 16 février 2015