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Plateforme Technologique - Grenoble INP - IMEP-LAHC

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Plateforme Technologique

L'IMEP dispose de 60m² sur les 450m² de salle blanche existants dans le bâtiment  (700m² en incluant les circulations et zones techniques).
Les modules sont de classe 1000 en salle et plus localement  de classe 100 au niveau de quelques équipements.
Contacts : Aude Bouchard- Responsable technologique            

Moyens technologiques en salle blanche


Dépôt de couches minces : par pulverisation, par évaporation
 Dépôt de couches minces :
  
- par pulvérisation
   - par évaporation
Lithographie
   
            Lithographie         
Gravure
  
    Gravure

Autres moyens technologiques

Fours verticaux pour echanges ioniques (Ag, K,Tl) et enterrages Découpe, polissage
Fours verticaux pour échanges                            Découpe ,
ioniques (Ag,K, TI) et enterrages                 polissage, amincissement
assistés par champ électrique.
 
IMEP-LAHC - UMR 5130
Site Grenoble
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site Chambéry
Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex Copyright Grenoble INP