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Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Plateforme Technologique

L'IMEP dispose de 60m² sur les 450m² de salle blanche existants dans le bâtiment  (700m² en incluant les circulations et zones techniques).
Les modules sont de classe 1000 en salle et plus localement  de classe 100 au niveau de quelques équipements.
Contacts : Aude Bouchard- Responsable technologique            
 

Moyens technologiques en salle blanche


Dépôt de couches minces : par pulverisation, par évaporation
 Dépôt de couches minces :
  
- par pulvérisation
   - par évaporation
Lithographie
   
            Lithographie         
Gravure
  
    Gravure

Autres moyens technologiques

   Fours verticaux pour echanges ioniques (Ag, K,Tl) et enterrages                                  Découpe, polissage
  Fours verticaux pour échanges                      Découpe , polissage,  amincissement
ioniques (Ag,K, TI) et enterrages                 
assistés par champ électrique.

Rédigé par Brigitte Rasolofoniaina

mise à jour le 9 novembre 2018

anglais
IMEP-LAHC
Site de Grenoble
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site de Chambéry
Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex
 


  CNRS  http://www.cnrs.fr      Site Grenoble-INP http://www.grenoble-inp.fr       Université Grenoble Alpes (UGA)      Université Savoie Mont Blanc
Univ. Grenoble Alpes