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Microelectronics, electromagnetism, photonics , microwave

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Technological Platform

The laboratory IMEP-LAHC operates 60m² of the 450m² clean room situated in the Minatec building BCAi.
The class level is 1000 in the clean rooms and 100 under equipments.

Contacts : Aude Bouchard -Technological manager      
      

Technological Means in clean room


Dépôt de couches minces : par pulverisation, par évaporation Lithography, etching, Spin coating, chemistry
    
       Thin layers deposition:                                   Lithography, etching,
     Joule effect evaporation                                     Spin coating, chemistry
     
  and RF sputtering

Other  Equipements available

Fours verticaux pour echanges ioniques (Ag, K,Tl) et enterrages Découpe, polissage
          Furnaces:                                             Samples preparation :
Ions exchanges (Ag, K,Tl)                         Polishing, cutting, lapping
Electrically assisted exchanges

Written by Brigitte Rasolofoniaina

Date of update October 5, 2018

français
IMEP-LAHC
Grenoble site
Grenoble INP - Minatec : 3, Parvis Louis Néel - CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Chambéry site
Université de Savoie - F73376 Le Bourget du Lac Cedex
 


  CNRS  http://www.cnrs.fr      Site Grenoble-INP http://www.grenoble-inp.fr       Université Grenoble Alpes (UGA)      Université Savoie Mont Blanc
Univ. Grenoble Alpes