Aller au menu Aller au contenu
Evénements de l'IMEP-LAHC
Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
Evénements de l'IMEP-LAHC
Evénements de l'IMEP-LAHC

> Evénements > Soutenance de Thèses

Soutenance de thèse de Pierre TISSIER

Publié le 30 septembre 2021
A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In
Soutenance 6 octobre 2021 | Plan d'accès
Soutenance de thèse de Pierre TISSIER , pour une thèse de DOCTORAT de l' Université de Grenoble Alpes , spécialité " NANO ELECTRONIQUE ET NANO TECHNOLOGIES ", intitulée:
Salle BELLEDONNE (Places limitées)
IMEP-LaHC  - Minatec - 3, Parvis Louis Néel , CS 50257 -
38016 Grenoble Cedex
 

Opportunités et défis d’une intégration 3D pour les nouvelles architectures de modules photoniques sur silicium Tbps/cm2

Pierre TISSIER

Pierre TISSIER

Mercredi 6 Octobre 2021 à 14h30
 
Mots-Clés :
TSV,intégration 3D,Photonique

Résumé :
De plus en plus de données sont produites et transférées chaque année. L’essor de nouvelles technologies telles que le calcul haute performance ou l’intelligence artificielle exige des liens à fort débits entre les différents nœuds de calcul et les mémoires. Les liens optiques, plus performants et plus économes en énergie que les liens électriques, sont une solution de choix pour répondre à ces besoins. Afin de faire l’interface entre les liens optiques et les cœurs de calcul électriques et pour approcher au plus près le lien optique pour maximiser les débits, une architecture tridimensionnelle à base d’interposeur photonique est présentée. Cet interposeur est réalisé en silicium pour être compatible avec les cœurs de calcul qu’il héberge, mais aussi avec les liens optiques en utilisant une technologie photonique intégrée sur silicium. La cointégration de la photonique sur silicium avec les interconnexions 3D nécessaires au bon fonctionnement de l’interposeur est donc cruciale pour assurer de bonnes performances. Cette cointégration présente des défis importants, tant d’un point de vue microscopique que macroscopique. D’un point de vue microscopique, la présence d’interconnexions métalliques proches des éléments photoniques peut modifier les propriétés optiques du système. Cette étude vise à quantifier cette perturbation, et de présenter aux architectes des règles de dessin pertinentes pour garantir un bon fonctionnement optique. Des caractérisations expérimentales ont démontré qu’une zone d’exclusion réduite est nécessaire autour des composants optiques les plus sensibles. Des études complémentaires ont été conçues pour étudier plus finement l’effet photoélastique afin de l’appliquer à d’autres domaines pouvant bénéficier de ces valeurs. D’un point de vue macroscopique, l’interposeur, par sa géométrie, est sujet à de fortes déformations thermomécaniques empêchant l’assemblage final. Nous avons quantifié la déformation de l’interposeur grâce à la profilomètre optique confocale, contrôlée en température. Une couche de compensation a été également conçue pour réduire la courbure de l’interposeur à des valeurs compatibles avec les dimensions des puces visées. Cette couche de compensation, parfaitement compatible avec le reste de l’intégration de l’interposeur, possède une texturation lui conférant des propriétés modulables en fonction du type d’architecture considérée. Enfin, les technologies utilisées dans les interconnexions 3D ont été appliquées à la photonique, notamment par la réalisation d’une cavité d’isolation thermique. Cette cavité isole thermiquement des composants optiques nécessitant de la chaleur, et permet de réduire la consommation énergétique globale de l’interposeur en réduisant les fuites thermiques. Les différents défis pour la réalisation de l’interposeur photonique ont été adressés et des règles de dessin ont été établies pour les prochaines architectures basées sur un interposeur photonique silicium.
 
Membres du jury :
  • Jean-Emmanuel BROQUIN, Professeur des Universités,Université Grenoble Alpes : Directeur de thèse
  • Anne KAMINSKI-CACHOPO, Professeur des Universités, Grenoble-INP : Examinateur
  • Delphine MARRIS-MORINI, Professeur des Universités, Université Paris 11 - Paris SUD : Rapporteur
  •  Ian O'CONNOR , Professeur, Ecole Centrale Lyon : Rapporteur
  •  François ROYER ,  Professeur des Universités, Université de Saintt-Etienne - Jean Monnet : Examinateur

A+Augmenter la taille du texteA-Réduire la taille du texteImprimer le documentEnvoyer cette page par mail cet article Facebook Twitter Linked In

Partenaires

Thèse préparée à ST/IMEP-LAHC ( Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'hyperfréquences et de caractérisation ), sous la direction de Jean-Emmanuel BROQUIN.

mise à jour le 30 septembre 2021

anglais
IMEP-LAHC
Site de Grenoble
Grenoble INP - Minatec - 3, Parvis Louis Néel , CS 50257 - 38016 Grenoble Cedex 1

Site de Chambéry
Université Savoie Mont Blanc - Rue Lac de la Thuile, Bat. 21 - 73370 Le Bourget du Lac
 
 
  Logo CNRS_2019       Logo Grenoble INP - UGA Université Grenoble Alpes      Université Savoie Mont Blanc
Université Grenoble Alpes