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Grenoble INP - UGA
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Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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> Plateformes > Technologie > Echanges/Enterrage

Fours échanges d’ions et enterrage sous champ

Fours verticaux AET

  • Température des fours jusqu'à 500°C
  • Substrats jusqu'à 3''
  • Echange d'ions potassium, argent et thallium dans le verre
  • Echange d'ions argent assisté sous champ
  • Enterrage sous champ pour faire diffuser les ions d'une dizaine de microns en dessous de la surface
      Four d'enterrage  


    Echantillon à la sortie d'un four d'échange

Boite à gants Jacomex pour la manipulation des sels de thallium et l'échange d'ions thallium


Boîte à gants Thallium
 
  Zone d'échange et de diffusion des ions   Enterrage des guides sous la surface

mise à jour le 10 mai 2019

anglais
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