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Microélectronique, électromagnétisme, photonique, hyperfréquences
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Electromagnétisme


Contact : Magali ASTIC
Les chercheurs basés sur le site Savoyard de CROMA disposent d'un ensemble d'équipements pour la caractérisation radiofréquence et hyperfréquences.
Des solutions pour l'analyse de réseaux en 4 ports jusqu’à 65 GHz et en 2 ports jusqu'à 110 GHz et l'analyse spectrale jusqu'à 30 GHz sont disponibles.
Un oscilloscope à échantillonnage permet de réaliser les analyses temporelles subnanosecondes. Ces équipements peuvent être utilisés en combinaison avec une station manuelle de test sous pointes pour la caractérisation des dispositifs sur tranche jusqu'à 8'' (200 mm) ou avec une station semi automatique Elite 300 (Cascade Microtech) permettant des mesures en température ambiante ou jusqu’à 300°C.

Equipements disponibles :
  • Appareils de mesures
Analyseur de réseau
- 1 analyseur de réseau Anritsu 37397 C (40 MHz-65 GHz)
- 1 analyseur de réseau 4 ports PNA-X Agilent N5247A (10 MHz-67 GHz) plus extension composée du controleur Agilent 4 ports N5262A et 2 têtes millimétriques OML N5250CX10-L20(Left Combiner head with adj Atten and Bias Tee) et N5250CX10-R20 (Right combiner head with Bias Tee, no adj Atten) permettant des mesures 2 ports largebande jusqu’à 110 GHz
     







Analyseur de spectre
 - 1 Precision Source / Measure Unit Agilent B2902A (100  fA).
- 1 impedance mètre 4294 A (40 Hz-110 MHz).
- 1 analyseur de spectre Anritsu MS2667C (9 kHz - 30 GHz).




 
  • Stations sous pointes
PM8 Suss Microtech
- 1 station manuelle de mesures sous pointes PM8 Suss Microtec pour wafers jusqu'à 200 mm                                                      






Elite 300 Cascade Microtech
- 1 station semi automatique de mesures sous pointes Elite 300 Cascade Microtech pouvant accueillir des wafers jusqu'à 300 mm de diamètre, possibilité de faire des mesures à température ambiante ou jusqu'à 300 °C  
         
                                            

 

mise à jour le 11 janvier 2024

anglais
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