Ces équipements peuvent être utilisés en combinaison avec :
une station manuelle de test sous pointes PM8 Suss Microtech pour la caractérisation des dispositifs sur tranche jusqu'à 8'' (200 mm)
Figure 3: PM8 Suss Microtech
ou avec une station semi automatique Elite 300 Cascade Microtech pouvant accueillir des wafer jusqu’à 300 mm , pour des mesures en température ambiante ou jusqu’à 300°C
Figure 4 :Elite 300 Cascade Microtech et système de régulation thermique ERS Air Cooled