Plateforme Technologique

Contact : Aude BOUCHARD

L'IMEP-LaHC dispose de 60m² sur les 450m² de salle blanche existants dans le bâtiment  (700m² en incluant les circulations et couloirs techniques).
Les modules sont de classe 1000 en salle et plus localement  de classe 100 au niveau de quelques équipements.
 

• Dépôt de couches minces par PVD :
      - Pulvérisation RF et évaporation
      - Dépôt de couches métalliques et diélectriques
• Lithographie UV :
     - Spin coating photomasqueur
     - Dimension minimales  0,6µm
• Gravure humide et sèche RIE et ICP , Chimie, Activités nanomatériaux

• Technologie d'échanges d'ions dans le verre et enterrage assisté sous champ électrique
• Découpe, polissage, amincissement, rodage